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派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E(0.15Cv)是市场上先进的微型超*纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制,提*了MFC(质量流星控制器)的**,这对半导体**的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成,以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.
SMSQ2Micro系列减压阀的内部(阀座)密封和金属外部密封通过氦泄漏测试,使用质谱仪以获得在苛刻超*纯应用中的**和稳定性.
美国Parker调压阀,派克应用参数
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