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喜开理安装方式,CKD精密减压阀

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产品名称: 喜开理安装方式,CKD精密减压阀
产品型号: RP1000-8-02-G49P
产品展商: CKD
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简单介绍

喜开理安装方式,CKD精密减压阀 本参考是将精密减压阀直接安装到气缸时,根据供气、排气 流量和1个气缸伸出 • 缩回时的必须消耗流量计算出的动作速度。 如果超出精密减压阀的能力使用时,可能会发生故障。


喜开理安装方式,CKD精密减压阀  的详细介绍
喜开理安装方式,CKD精密减压阀
功能介绍:
实施精密清洗(气体接触部分),在洁净室内进行从组装到包装的一条龙**。
接触气体部位不使用润滑脂。
无润滑脂规格、紧凑、省空间型的小型直动精密减压阀。
通过使用快插接头,提*了操作性。适用于要求省空间、精度、无润滑脂的半导体制造的后工序、IT领域、小物件装配等。
模块集成阀MNRJB500系列可实现RJB500、RB500系列的混合集成阀。
【紧凑•大流量】
2次侧不残留压力,重视安全性。(不施加背压时)
采用禁油规格•不锈钢阀体,半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。
另外,由于紧凑•大流量,因此适合空气(N2)吹气。使用流体 洁净压缩空气(参考第6页的**空压回路)
使用压力 MPa 1.0
使用压力 MPa 设定压力+0.1 注1
**耐压力 MPa 1.5
环境温度 • 流体温度 °C -5~60(不得冻结)
设定压力范围 MPa 0.01~0.7
灵敏度 全量程的0.2%以内
重复性 全量程的±0.5%以内
空气消耗量 注2 /min(ANR) 0.2以下
配管口径 Rc1/4
压力表配管口径 Rc1/8
重量 g 250 注3

流体通路部、快插接头均以无润滑脂为标准规格。 适用于禁油用途。

【节能机构】
采用可变常时释放机构。
可设定与使用压力相匹配的耗气量。
对边50mm的紧凑尺寸,并实现了0.8㎥/min的大流量。
(1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量)
在低压范围实现*灵敏度控制】
设定压力为低压用时0.01〜0.2MPa,标准时0.02〜0.5MPa。
灵敏度为0.001MPa。
采用特殊膜片结构,实现了低压范围内的*灵敏度调整。
【带可逆流功能】

具有排放1次侧压力时,2次侧压力向1次侧逆流的功能。

喜开理安装方式,CKD精密减压阀

沪公网安备 31011402005010号

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