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干式真空泵信号输出SCHMALZ​

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产品名称: 干式真空泵信号输出SCHMALZ​
产品型号:
产品展商: 施迈茨
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简单介绍

干式真空泵信号输出SCHMALZ​ 空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及 2013年止，真空行业使用的大多数机械真空 泵都是用油、水或其它聚合物等流体充 件来防止返流，但不能彻底解决问题， 而且使系统显得复杂。而使用适当型 式的干式机械真空泵，则可以 干式真空泵信号输出SCHMALZ​


干式真空泵信号输出SCHMALZ​  的详细介绍
干式真空泵信号输出SCHMALZ
完全珩磨壳体和闸门阀，由树脂结合碳材料制成
旋转叶片泵多室压缩原理
设计紧凑，集成风扇和润滑轴承
真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及
2013年止，真空行业使用的大多数机械真空
泵都是用油、水或其它聚合物等流体充
件来防止返流，但不能彻底解决问题，
而且使系统显得复杂。而使用适当型
式的干式机械真空泵，则可以
达到理想的使用效果式机械真空泵
的应用是广泛的，主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些**工艺
用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附
的散热能力
抽吸量根据客户要求调整
干式真空泵，可配额外过滤器
泵起到滑片压缩机作用，无振动运行，供给稳定
集成缓冲部件的安装孔
其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一
是泵的工作介质返流污染被抽容器，
而这种返流在许多情况下影响产品的质量、
数量，增加设备的维护成本。其次，由
于某些工艺过程中的反应物质使真空
泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。
对于普通的无油真空系统来说，虽然可
大真空度: 92%
无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指
泵能从大气压力下开始抽气，又能将被
抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或
其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式
真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
安装位置宜采用沿电机轴水平安装
抽吸速率：10至129 m³/h
当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等
多种作用。随着科学技术的发展以及
中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
润滑轴承和***风扇
适用领域广**...
旋叶使用寿命大大延长

无振动运行，连续、低脉冲输出

干式真空泵信号输出SCHMALZ

沪公网安备 31011402005010号
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