日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本

日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本
 检测物体 3英寸以上的半导体晶圆(注2)
可对应检测面 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
检测角度 12.5±5°(注4)
因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。
 而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。
使用环境温度 0〜＋55℃(注意不可结露)、存储时：−10〜＋70℃
使用环境湿度 35〜85%RH、存储时： 35〜85%RH
使用环境照明度 白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度1,500lx以下
耐电压 AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间 
利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通过反射光位置而非反射光量进行检测。
日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本

消耗电流 65mA以下
输出动作 可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
短路保护 装备(自动复位)
反应时间 500μs以下
工作状态指示灯 橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯 绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
定时器功能 装备约2ms固定断开延迟定时器　有效/无效切换式
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，质量约为75g的小巧、轻盈型。
以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。
M-DW1以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。

日本SUNX晶圆定位传感器,松下晶圆定位传感器样本