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日本KOGANEI在线过滤器,小金井在线过滤器功能 是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器 便于确认过滤器滤芯的状态。 紧凑、用于构成部件的油量减少。 标准应对耐臭氧规格、NCU规格(不使用铜类材质)。 提*流量特性实现小型化(缩短了各表面之间的尺寸)。 由于透明托架及流路构造的变化,滤芯的外侧会附着污垢, 因此从使用初期开始便能轻松确认滤芯的污垢状态。 滤芯寿命因IN气口(进气口)侧供给空气的质量特性而异。 IN气口(进气口)侧供给空气中含有大量异物等时, 请在IN气口(进气口)侧设置粗滤器,或将滤芯的更换期限设定得短些。
日本KOGANEI在线过滤器,小金井在线过滤器功能 过滤精度5μm•40μm。 ●提*流量特性实现小型化。 ●过滤滤芯的可视化便于确认过滤器滤芯的状态 集中了使用线路上质量调节所需要的各种机能 ●空气过滤阀、调压阀、给油器的组合件 滤芯是PTFE制膜和PTFE制不织布构成的双重构造确保了本产品的安定的**。 可以100%地捕捉0.01μm的微粒子 ●使用的部件在无尘清洁室里进行了精密清洗。 日本KOGANEI在线过滤器,小金井在线过滤器功能
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