SMC电子式压力开关主要作用 SMC电子式压力开关

SMC电子式压力开关主要作用 SMC电子式压力开关

可选择模拟输出或开关输出，若选择开关输出
当滤芯水份饱和时也不会增加压力降
更换滤芯方便当切断真空后可方便用手把水排放出来
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请选择NPN 输出或PNP输出压力指示单位
Vacuum specification: Operating
pressure range –101.2 kPa to 0.1 MPa

SMC电子式压力开关主要作用 SMC电子式压力开关

适合用于吸盘附近有水份的地方除去水滴达到90％以上
在半导体制造过程中腐蚀装置、喷镀装置
1．油液中混入空气2．阻尼孔有时堵塞
3．滑阀与阀体内孔圆度超过规定，使阀卡住
4．弹簧变形或在滑阀中卡住，使滑阀移动困难或弹簧太软
5．钢球不圆，钢球与阀座配合不*或锥阀安装不正确
离子注入装置和CVD装置等许多部分
都要把芯片和液晶基板放在真空室内处理，该真空
室供气、排气(真空)用阀要求它们无泄漏、耐腐蚀且是洁净规格