SUNX晶圆定位传感器,原装**神视传感器

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因此，对于使用单波长激光的传感器，
可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。
实现0.5ms的*速反应。兼顾*速反应性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置检测
利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，
通过反射光位置而非反射光量进行检测。
因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
以往使用激光的激光式定位传感器，

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激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，
吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。
检测物体 3英寸以上的半导体晶圆(注2)
可对应检测面 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
晶圆间距 间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
适用晶圆盒 SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
电源电压 12〜24V DC±10%　脉动P-P10%以下
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