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**SUNX晶圆校准传感器,神视传感器功能 检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。 实现光电传感器同等的低功耗。 虽然使用红色LED作为光源, 但仍然具有激光传感器同样的***,因此可实现*精度检测。 投、受光部一体型,无需繁琐的光轴调整。 并且,检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域, 可对应各种不同尺寸的晶圆。 模拟输出(1~5V)除了系数调整功能之外, 还具备方便的偏移调整功能,可在±0.5V的范围内转换模拟电压。 使用ONE SHOT连接器将检测头与控制器连接。 配线工时降至低限度,维护轻松。 使用安全的红色LED作为光源,无需任何繁杂的安全措施。
**SUNX晶圆校准传感器,神视传感器功能 检测宽度 30mm(直线性按照28mm的宽度规定) 检测距离 30mm(固定)(注2) 能 保护构造 IP40(IEC) 使用环境温度 0~+40℃(注意不可结露),存储时:-20~+55℃ 使用环境湿度 35~85%RH、存储时:35~85%RH 使用环境照明度 白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、 荧光灯:受光面照明度3,000lx以下 耐电压 AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的*阻表 耐振动 频率10~150Hz 双振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小时 耐冲击 加速度490m/s2(约50G) X,Y和Z方向各3次 投光元件 红色LED(投光波峰波长:650nm)
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